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化學(xué)過濾器在芯片廠中的應(yīng)用

2024-07-08

化學(xué)過濾器在芯片廠中有多種應(yīng)用,主要用于處理工藝廢氣和廢水,確保生產(chǎn)環(huán)境符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。具體來說,它們可以用于:

 

廢氣處理:芯片制造過程中會產(chǎn)生各種有機氣體、溶劑蒸汽和腐蝕性氣體等廢氣。化學(xué)過濾器通過吸附、吸收、催化氧化等方法將這些有害物質(zhì)去除或轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì),保證排放達標(biāo)。

 

化學(xué)過濾器


廢水處理:芯片生產(chǎn)中的清洗、蝕刻、光刻等步驟會生成含有重金屬離子、有機物等的廢水。化學(xué)過濾器通過吸附樹脂、離子交換樹脂等技術(shù),去除廢水中的污染物質(zhì),達到排放要求或循環(huán)利用的水質(zhì)要求。

 

空氣凈化:在潔凈室內(nèi),芯片制造需要嚴格控制空氣中的微粒和微生物,化學(xué)過濾器可以作為空氣處理系統(tǒng)的一部分,幫助保持潔凈室的高純度環(huán)境。

 


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